产品介绍

Libra UV是鑫图针对半导体高速高分辨率检测推出的紫外全局快门CMOS相机。在半导体行业中，Libra UV已成功应用在无图形晶圆检测、有图形晶圆检测、掩膜板对准以及晶圆键合等多个工艺制造和瑕疵检测环节中。除此之外,基于其宽光谱和优异的紫外响应能力，它在生物光谱分析仪器整合、医疗和电子产品检测领域也有非常广阔的应用前景。

• 宽光谱/紫外增强

  Libra UV采用Sony背照式CMOS技术，不仅具有宽光谱（200 nm~1000 nm)优势，且在200-400 nm紫外波段还具有优异的响应能力，365 nm波段量子效率高达48%。

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• 全局快门高速成像

  Libra UV采用全局快门技术，可以清晰地捕捉快速运动中的样品；同时配备10G GigE高速接口，在810万全分辨率速度最高可达100 fps@12 bit 和 152 fps @ 8 bit，具有非常显著的高速效能优势。

• 紧凑型结构设计

  Libra UV针对检测设备和仪器系统整合的特点，在结构设计上实现了高质量成像性能和小尺寸紧凑型空间需求的平衡。
  

  

技术参数