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H1
Q1 系列激光器专用 H1 谐波发生器
可独立使用的二次、三次、四次或五次谐波发生器，兼容 Q1 系列激光器
出厂可配置双输出端口
微处理器控温调谐非线性晶体
可与激光器共用以太网接口，或使用独立网口，实现远程监测与控制
独立闭环空气吹扫单元，延长紫外光学元件使用寿命
可装配衰减器
可装配脉冲能量监测器
光纤耦合输出
产品概述
H1 谐波发生器为独立模块，专为 Q1 系列风冷二极管泵浦激光器实现高效波长转换而设计。该模块可与 Q1 激光器并排安装在同一光学平台或光学面包板上，为谐波产生应用提供紧凑、稳定的光路方案。
H1 模块最高可产生五次谐波，覆盖宽波段光谱范围：从基频 1064 nm 直至 213 nm。根据配置不同，H1 出厂时可预设优化为二次谐波发生器（532 nm）、三次谐波发生器（355 nm）、四次谐波发生器（266 nm）或五次谐波发生器（213 nm）。
谐波产生是对相位敏感的非线性光学过程，依赖双折射晶体内的精确相位匹配。H1 系统采用温度调谐而非角度调谐方式实现相位匹配优化。内置微处理器持续微调并稳定晶体温度，保证稳定的转换效率与长期工作可靠性。
与 Q1 激光器联用时，可通过 Q1 控制面板对 H1 模块进行远程监测与控制（需连接电脑）；也可通过内置以太网接口直接控制。
由于绝大多数高性能非线性晶体具有吸湿性，维持合适的温度条件对延长晶体使用寿命至关重要。H1 将晶体维持在较高温度，可显著延长其工作寿命，通常甚至超过激光器本身的寿命。为获得最佳性能，该模块建议持续通电；若不使用时，则需存放于干燥环境中。
技术规格 1）
| 型号 | H1 |
| 转换效率 2） | |
| 基频光转二次谐波 | ＞50 % |
| 基频光转三次谐波 | ＞30 % |
| 基频光转四次谐波 | ＞15 % |
| 基频光转五次谐波 | ＞6 % |
| 脉冲间能量稳定性@ 3） | |
| 526.5/532 nm | ＜2.5 % RMS |
| 351/355 nm | ＜3.5 % RMS |
| 263/266 nm | ＜4 % RMS |
| 211/213 nm | ＜5 % RMS |
| 1# 输出口光谱纯度 4） | ＞99% |
| 典型脉冲宽度 | 每一级转换后缩短 10–20% |
| 典型光束直径 | 比泵浦光束小 10–30 % |
| 光束指向稳定性 | 与泵浦光束一致 |
| 外形尺寸 | |
| 谐波发生器 (宽 × 长 × 高) | 110 × 242 × 112 mm³ |
| 工作条件 | |
| 环境温度 | 15 – 30 ℃ |
| 相对湿度 | 10 – 80 %（无冷凝） |
| 供电 | 12 VDC 5） |
| 平均功耗 | ＜10 W |
配置选项
| 型号 | Port #1 | Port #2 | ||
| 波长 7） | 衰减器（可选） 8） | 能量监测器（可选） 9） | 波长 | |
| H1- | ||||
| SH | 532 nm | -AT2 | -EM2 | 1064 nm 10） |
| TH | 355 nm | -AT3 | -EM3 | 532+1064 nm 11） |
| TH/SH | 355 nm | -AT3 | -EM3 | 532 nm 10） |
| FH | 266 nm | -AT4 | -EM4 | 532+1064 nm 11） |
| FH/PB | 266 nm 12） | -AT4 | -EM4 | （N/A） |
| FH/SH | 266 nm 12） | -AT4 | -EM4 | 532 nm |
| FiH | 213 nm 12） | -AT5 | -EM5 | （N/A） |
| FiH/SH | 213 nm 12） | -AT5 | -EM5 | 532 nm |
1）本产品持续迭代改进，所有技术参数如有变更，恕不另行通知。标注 “典型值” 的参数不属于硬性指标，仅代表典型性能表现，不同设备单体之间会存在差异。
2）本文所列转换效率为 1# 输出口指标。2# 输出口的转换效率取决于设备配置，通常低于本表数值，详情请咨询厂商。
3）设备由本公司 Q1 系列激光器泵浦；在设备预热完成后，连续运行 30 秒条件下测得。
4）双波长输出配置下，2# 输出口的光谱纯度不做指标限定。
5）若 H1 与 Q1 激光器成套供货，H1 由激光器控制器供电。
6）输出端口编号定义详见下文图 1；可咨询定制化配置方案。
7）所示波长基于 1064 nm 泵浦光源；若采用 1053 nm 泵浦光源，需另行换算对应输出波长。
8）为本产品适配的衰减器型号；该选件仅在 H1 与 Q1 系列激光器成套采购时提供。
9）为本产品适配的脉冲能量监测器型号；该选件仅在 H1 与 Q1 系列激光器成套采购时提供。
10）光谱纯度＞98%。
11）两个波长均从 2# 输出口出射，如需分光，需外接二向色镜。
12）该型号光谱纯度＞99.9%。