高度集成的产品结构(16x17cm²)
【产品规格参数】
极紫外光栅
其他光栅
光谱模式
波长 [nm]
10 - 80
根据要求
分辨率[nm]
0.13 - 0.25
光栅效率
~20%
MCP 效率
光束分析模式
分辨率[um]
100
* 其他配置(光谱范围,等)根据要求定制
【光栅效率】